Laboratoř biosenzorů a mikrotechnologií
Odpovědná osoba: Marcel Štofik, PhD
Laboratoř je určena pro výzkumnou činnost pracovníků a výuku studentů v oblasti mikro a nanotechnologií. Probíhá zde vývoj, příprava a zkoušky mikrofluidních zařízení, biosenzorů a tzv. lab-on-chip zařízení pro biomedicínské aplikace.
Laboratoř slouží také jako přípravna substrátů pro procesy fotolitografie a reaktivního iontového leptání a je zařízena vybavením pro zpracování substrátů (různé druhy skel, křemík) a jejich čištění (digestoře, ultrazvuková čistička).
Dále je zde umístěna naprašovací a napařovací stanice (Quorum), která slouží k nanášení tenkých vrstev kovů a uhlíku. Pomocí tzv. suchého plazmatického leptání (RIE, PlasmaEtch, USA) je pak možné vytvářet nano(mikro)strukturované povrchy leptáním v reaktivním plazmatu (CF4, O2) přes masku v různých materiálech (sklo, křemík, polymery atd.). Vysokoteplotní pec pak slouží k vytváření uzavřených mikrokanálků ve skle.
V této místnosti také probíhá testování finálních mikrofluidních a lab-on-chip zařízení.
(doplnit pumpu, jednotku na řízení tlaku a mikrofluidiku)