Laboratoř litografických technik

Odpovědná osoba: Marcel Štofik, PhD

Laboratoř je součástí laboratoře biosenzorů a mikrotechnologií a je určena pro přípravu součástí mikrosystému a jejich kompletaci pomocí UV lepení. Díky fotolitografu lze přenášet informaci (např. rozložení struktur kanálů) skrze fotocitlivou látku na vhodné substráty (sklo, křemík), které lze dále použít.

Laboratoř je vybavena zařízením pro přípravu tenkých vrstev fotorezistů (zařízení na odstředivé lití, topná deska s mikroprocesorovou regulací teploty) a fotolitografem, vybaveným zdrojem kolimovaného UV záření a tzv. mask-alignerem, který slouží k přenosu vzorů mikrofluidních kanálků definovaných chromovou maskou na citlivý fotorezist. Chromové masky jsou připravovány metodou elektronové litografie v Laboratoři elektronové mikroskopie.

Fotolitograf dále slouží ke kompletaci finálních mikrozařízení a mikrofluidních čipů pomocí lepení UV lepidly a také k osvitu fotocitlivých folií používaných jako maska při mikroabrazivním obrábění.